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气相沉积前驱体
试剂名称: 四氯化硅 分子式: SiCl4 
CAS NO.: 10026-04-7 分子量: 169.90 
英文名: Silicon tetrachloride MDL:  
试剂名称: 三(五氟苯基)硼烷 分子式: C18BF15 
CAS NO.: 1109-15-5 分子量: 511.98 
英文名: Tris(pentafluorophenyl)borane MDL:  
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